فیدترو الکتریکی جریان بالا در دستگاه‌های لایه‌نشانی

بسته به هدف مورد نظر، انواع مختلفی از فیدتروها را می‌توان در یک سیستم خلاء استفاده کرد. سیستم‌های پوشش‌دهی تحت خلاء شرکت پوشش‌های نانوساختار با قابلیت‌‌های ویژه‌ای همچون اندازه‌گیری دقیق ضخامت توسط سنسورهای ضخامت QCM، چرخش نگهدارنده نمونه، تزریق آرگون یا گاز واکنشی به محفظه لایه‌نشانی کندوپاشی ارائه می‌شوند، در نتیجه به انواع فیدتروهای (ورودی‌های) الکتریکی، سیالات و حرکت مکانیکی برای تضمین محیط خلاء پایدار در داخل محفظه نیاز دارند.

همچنین، سیستم لایه‌نشانی لیزر پالسی  (PLD-T) با ورودی‌هایی که امکان مشاهده داخل محفظه را امکان‌پذیر می‌نمایند، عرضه می‌شود.

فیدترو الکتریکی

فیدتروهای الکتریکی ابزاری هستند که سیگنال‌ها و جریان‌های الکتریکی را بین داخل و خارج محفظه خلاء تبادل می‌کنند. فیدتروها شامل یک یا چند پایه‌ هادی هستند که از داخل یک فلنج خلاء که به خوبی در مقابل نشت هوا آب‌بندی شده است، عبور می‌کنند. پایه‌های رسانا از نظر الکتریکی، توسط عایق از فلنج، جدا شده‌اند. این عایق‌ها که اکثرا از جنس سرامیک می‌باشند، معمولا قابلیت تحمل اختلاف فشار قابل توجهی در طول خود را دارا هستند.

راه حل

شرکت پوشش‌های نانوساختار سیستم لایه‌نشانی حرارتی تبخیر DTT را برای تبخیر حرارتی طولانی مدت و از چند منبع تبخیر ارائه می‌دهد. در این سیستم تبخیر حرارتی، فیدتروهای الکتریکی جریان بالای آبگرد بر روی کف محفظه نصب می‌شوند که برای جلوگیری از مشکل گرم شدن با آب خنک می‌شوند. علاوه بر این، به منظور احتیاط و ایمنی بیشتر، جریان آب عبوری و دمای فیدتروهای الکتریکی جریان بالا در این سیستم‌ها به طور مستمر پایش می‌شود و در صورتی که دما به بیش از حد مجاز برسد، منابع تغذیه به صورت خودکار قطع شده و عملیات لایه نشانی متوقف می‌گردد.